指尖敲击显微镜外壳的声音，在死寂的车间里显得格外突兀。 主屏下方，那一抹针尖大小的暗红色热斑，在05微米的晶格边缘缓缓晕开，像是一块洁白丝绸上渗出的血。 “红斑……” 李副部长猛地凑近，呼吸喷在屏幕上，带起一层薄雾。 “是漏电短路，线宽太窄，现有的化学湿法药水只要一淋下去，电路会瞬间崩塌熔断。” 专家组组长嗓子嘶哑，颓然地放下记录本，整个人像老了十岁。 “这片晶圆，废了。” “谁说要用湿法了？” 程美丽抬眼，目光越过屏幕，冷冷地扫向车间角落。 那里，一台覆盖着厚重油布的旧机器，正像个铁疙瘩一样缩在阴影里。 “启动等离子体干法蚀刻。” “不行...